ナノテクノロジーとレジスト材料
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書誌事項
- タイトル
- "ナノテクノロジーとレジスト材料"
- 責任表示
- 山岡亞夫監修
- 出版者
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- シーエムシー出版
- 普及版
- 出版年月
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- 2007.4
- 書籍サイズ
- 21cm
- タイトル別名
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- ナノテクノロジー ト レジスト ザイリョウ
- 新しいレジスト材料とナノテクノロジー
- Nano technology and polymer resist
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注記
初版 (2002年) のタイトル: 新しいレジスト材料とナノテクノロジー
文献: 各章末
