ナノテクノロジーとレジスト材料

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書誌事項

タイトル
"ナノテクノロジーとレジスト材料"
責任表示
山岡亞夫監修
出版者
  • シーエムシー出版
  • 普及版
出版年月
  • 2007.4
書籍サイズ
21cm
タイトル別名
  • ナノテクノロジー ト レジスト ザイリョウ
  • 新しいレジスト材料とナノテクノロジー
  • Nano technology and polymer resist

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注記

初版 (2002年) のタイトル: 新しいレジスト材料とナノテクノロジー

文献: 各章末

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