シリコンの選択酸化による細線光導波路の作製に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "シリコンの選択酸化による細線光導波路の作製に関する研究"
- 責任表示
- 研究代表者 飯山宏一
- 出版者
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- [飯山宏一]
- 出版年月
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- 2007.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- シリコン ノ センタク サンカ ニヨル サイセン ヒカリ ドウハロ ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
課題番号: 17560032
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794080891008
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- NII書誌ID
- BB12879650
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [金沢]
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- データソース種別
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- CiNii Books
