機器導体部のプラズマCVD絶縁膜 (CxFy高分子) によるSF[6]ガス代替絶縁

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Bibliographic Information

Title
"機器導体部のプラズマCVD絶縁膜 (CxFy高分子) によるSF[6]ガス代替絶縁"
Statement of Responsibility
研究代表者 酒井洋輔
Publisher
  • [北海道大学大学院工学研究科]
Publication Year
  • 2005.3
Book size
30cm
Other Title
  • キキ ドウタイブ ノ プラズマ CVD ゼツエンマク CxFy コウブンシ ニヨル SF[6] ガス ダイタイ ゼツエン

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Notes

[6]は下付き文字

課題番号: 15360143

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794084620928
  • NII Book ID
    BA73691675
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [札幌]
  • Data Source
    • CiNii Books
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