化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明"
- Statement of Responsibility
- 塚田隆夫研究代表
- Publisher
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- [塚田隆夫]
- Publication Year
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- 2005.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- カガクテキ キカイ ケンマ (CMP) プロセス ニオケル ケンマ リュウシ ギョウシュウタイ ノ アッシュク ズリ ヘンケイ キョドウ ノ カイメイ
- 平成15年度-平成16年度科学研究費補助金基盤研究(B)(2)研究成果報告書(課題番号15360407)
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Notes
参考文献: p36
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794150639104
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- NII Book ID
- BB10657534
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
-
- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books
