薄膜成長モニター用発光分光装置の実用化研究

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書誌事項

タイトル
"薄膜成長モニター用発光分光装置の実用化研究"
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研究代表者 生天目博文
出版者
  • [生天目博文]
出版年月
  • 2000.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ハクマク セイチョウ モニターヨウ ハッコウ ブンコウ ソウチ ノ ジツヨウカ ケンキュウ

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注記

研究代表者: 生天目博文(広島大学放射光科学研究センター教授)

研究分担者: 谷口雅樹, 島田賢也, 八木伸也

課題番号: 10355003

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794179152128
  • NII書誌ID
    BB29032087
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [東広島]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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