薄膜成長モニター用発光分光装置の実用化研究
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書誌事項
- タイトル
- "薄膜成長モニター用発光分光装置の実用化研究"
- 責任表示
- 研究代表者 生天目博文
- 出版者
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- [生天目博文]
- 出版年月
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- 2000.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ハクマク セイチョウ モニターヨウ ハッコウ ブンコウ ソウチ ノ ジツヨウカ ケンキュウ
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注記
研究代表者: 生天目博文(広島大学放射光科学研究センター教授)
研究分担者: 谷口雅樹, 島田賢也, 八木伸也
課題番号: 10355003
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794179152128
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- NII書誌ID
- BB29032087
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [東広島]
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- データソース種別
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- CiNii Books