UMS技術によるエレクトロニクス材料表面の超高精度特性解析・評価法
CiNii
所蔵館 1館
書誌事項
- タイトル
- "UMS技術によるエレクトロニクス材料表面の超高精度特性解析・評価法"
- 責任表示
- 櫛引淳一研究代表者
- 出版者
-
- [櫛引淳一]
- 出版年月
-
- 2000.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
-
- UMS ギジュツ ニヨル エレクトロニクス ザイリョウ ヒョウメン ノ チョウコウセイド トクセイ カイセキ・ヒョウカホウ
- 平成9-11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号09450120)
この図書・雑誌をさがす
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000794207558144
-
- NII書誌ID
- BB03384690
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- [仙台]
-
- データソース種別
-
- CiNii Books