三次元微細単結晶シリコンプローブを集積化した高機能スマートセンシングチップ
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "三次元微細単結晶シリコンプローブを集積化した高機能スマートセンシングチップ"
- 責任表示
- 石田誠研究代表
- 出版者
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- 石田誠
- 出版年月
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- 2008.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- サンジゲン ビサイ タンケッショウ シリコン プローブ オ シュウセキカ シタ コウキノウ スマート センシングチップ
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注記
代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部
出版年は背表紙による
標題紙の出版年: 平成19年5月
研究課題番号: 17206038
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794264980224
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- NII書誌ID
- BA86712814
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [豊橋]
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- データソース種別
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- CiNii Books