傾角熱反射法に基づくSi/NiFe/AlN機能性薄膜の熱的3次元構造測定装置の開発
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書誌事項
- タイトル
- "傾角熱反射法に基づくSi/NiFe/AlN機能性薄膜の熱的3次元構造測定装置の開発"
- 責任表示
- 早稻田嘉夫研究代表者
- 出版者
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- [早稻田嘉夫]
- 出版年月
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- 2002.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ケイカク ネツ ハンシャホウ ニ モトズク Si/NiFe/AlN キノウセイ ハクマク ノ ネツテキ 3ジゲン コウゾウ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ
- 平成12年度～平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))成果報告書(課題番号12555171)
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注記
参考文献: p69-75
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794306795520
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- NII書誌ID
- BB06359543
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books