新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明"
- 責任表示
- 研究代表者 畑朋延
- 出版者
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- [畑朋延]
- 出版年月
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- 1999.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- アタラシイ スパッタ タイセキ モード ニヨル キョウユウデンタイ PZT ハクマク ノ テイオン ケイセイ ト ソノ キコウ カイメイ
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794366257664
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- NII書誌ID
- BA44223990
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [金沢]
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- データソース種別
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- CiNii Books