Tungsten and other refractory metals for VLSI applications IV : proceedings of the 1988 workshop held October 4-6, 1988, Albuquerque, New Mexico, U.S.A.

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タイトル
"Tungsten and other refractory metals for VLSI applications IV : proceedings of the 1988 workshop held October 4-6, 1988, Albuquerque, New Mexico, U.S.A."
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sponsored by Continuing Education in Engineering, University Extension, University of California, Berkeley and Sandia National Laboratories, Albuquerque, New Mexico ; editors, Robert S. Blewer, Carol M. McConica ; associate editors, Kie Y. Ahn ...[et al]
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c1989
書籍サイズ
24 cm

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794378981120
  • NII書誌ID
    BA07603380
  • ISBN
    0931837987
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pittsburgh, Pa
  • データソース種別
    • CiNii Books
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