金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究

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Bibliographic Information

Title
"金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 大見忠弘
Publisher
  • [大見忠弘]
Publication Year
  • 1995.5
Book size
30cm
Other Title
  • キンゾク キバン SOI メタルゲート コウユウデンリツ ゼツエンマク CMOS チョウコウソク シュウセキ カイロ ノ ケンキュウ

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Notes

課題番号: 05402039

平成5～6年度科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794383545728
  • NII Book ID
    BB10901679
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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