金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究"
- 責任表示
- 研究代表者 大見忠弘
- 出版者
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- [大見忠弘]
- 出版年月
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- 1995.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- キンゾク キバン SOI メタルゲート コウユウデンリツ ゼツエンマク CMOS チョウコウソク シュウセキ カイロ ノ ケンキュウ
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注記
課題番号: 05402039
平成5～6年度科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794383545728
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- NII書誌ID
- BB10901679
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books
