Nanofabrication technologies and device integration : 13-14 April 1994, Lindau, FRG

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タイトル
"Nanofabrication technologies and device integration : 13-14 April 1994, Lindau, FRG"
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Wolfgang Karthe, chair/editor ; sponsored by the Commission of European Communities, Directorate General for Science, Research, and Development, the European Optical Society (EOS), SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1994
書籍サイズ
28 cm
シリーズ名/番号
  • :pbk.

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注記

Includes bibliographical references and author index

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