低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上
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書誌事項
- タイトル
- "低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上"
- 責任表示
- 研究代表者 酒井洋輔
- 出版者
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- [北海道大学大学院情報科学研究科]
- 出版年月
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- 2008.4
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- テイユウデンリツ コウゼツエン タイリョク プラズマ タイセキ a-C:Fマク ニヨル キキ ゼツエン ノ ケイリョウカ ト タイデンアツ コウジョウ
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注記
課題番号: 17360121
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794437572352
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- NII書誌ID
- BA87296453
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [札幌]
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- データソース種別
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- CiNii Books