超硬質窒化物合成のための高密度ヘリコン波プラズマ励起・超活性化成膜プロセスの開発

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Bibliographic Information

Title
"超硬質窒化物合成のための高密度ヘリコン波プラズマ励起・超活性化成膜プロセスの開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 節原裕一
Publisher
  • 節原裕一
Publication Year
  • 2001.2
Other Title
  • チョウ コウシツ チッカブツ ゴウセイ ノ タメ ノ コウミツド ヘリコンハ プラズマレイキ チョウ カッセイ カセイマク プロセス ノ カイハツ
  • 平成10年度～平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

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Notes

課題番号: 10558065

研究分担者: 三宅正治, 熊谷正夫, 緒方潔

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794438499072
  • NII Book ID
    BB10520132
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [茨木]
  • Data Source
    • CiNii Books
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