Crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing IV : DECON 2005 : proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 2005, Grenoble, France
書誌事項
- タイトル
- "Crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing IV : DECON 2005 : proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 2005, Grenoble, France"
- 責任表示
- editors, Bernd O. Kolbesen ... [et al.] ; sponsoring division, Electronics and Photonics
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c2005
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographic references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794453724800
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- NII書誌ID
- BA74394959
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- ISBN
- 1566774284
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- LCCN
- 2005929601
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2005929601
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, N.J.
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- データソース種別
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- CiNii Books
