Proceedings of the Fourth International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing

Web Site CiNii 所蔵館 1館

書誌事項

タイトル
"Proceedings of the Fourth International Symposium on Cleaning Technology in Semiconductor Device Manufacturing"
責任表示
editors, Richard E. Novak, Jerzy Ruzyllo ; [sponsored by the Electrochemical Society] Electronics Divisions
出版者
  • The Electrochemical Society
出版年月
  • c1996
書籍サイズ
23 cm

この図書・雑誌をさがす

注記

Includes bibliographies and index

"held during the Fall Electrochemical Society meeting in Chicago, Illinois, October 1995"

関連図書・雑誌

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794461262336
  • NII書誌ID
    BA28544359
  • ISBN
    1566771153
  • LCCN
    95061593
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/95061593
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, NJ
  • データソース種別
    • CiNii Books
ページトップへ