フィールドガイドオプティカルリソグラフィー
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書誌事項
- タイトル
- "フィールドガイドオプティカルリソグラフィー"
- 責任表示
- Chris A.Mack著 ; 木下博雄訳
- 出版者
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- オプトロニクス社
- 出版年月
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- 2008.9
- 書籍サイズ
- 21cm
- タイトル別名
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- フィールド ガイド オプティカル リソグラフィー
- Field guide to optical lithography
- オプティカルリソグラフィー
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注記
原著(Bellingham, Wash. : SPIE, c2006)の翻訳
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794467410432
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- NII書誌ID
- BA87772822
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- ISBN
- 9784902312331
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- 件名
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- BSH: リソグラフィー
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- データソース種別
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- CiNii Books