ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開
CiNii
所蔵館 1館
書誌事項
- タイトル
- "ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開"
- 責任表示
- 秩父重英研究代表
- 出版者
-
- [秩父重英]
- 出版年月
-
- 2007.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
-
- ヘリコンハ レイキ プラズマ スパッタホウ ニヨル サンカブツ ハンドウタイ ユウデンタイ エレクトロニクス ノ テンカイ
この図書・雑誌をさがす
注記
研究課題番号: 16360146
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000794473814400
-
- NII書誌ID
- BA8264703X
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- [つくば]
-
- データソース種別
-
- CiNii Books