Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium

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書誌事項

タイトル
"Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium"
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editors, J. Ruzyllo ... [et al.] ; sponsoring divisions: Electronics, Dielectric Science and Technology
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c2004
書籍サイズ
24 cm

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Includes bibliographical references and indexes

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794482331648
  • NII書誌ID
    BA6950707X
  • ISBN
    156677411X
  • LCCN
    2004101827
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/2004101827
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, NJ
  • データソース種別
    • CiNii Books
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