分子層成長用流量制御システムの試作とその応用に関する研究

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Bibliographic Information

Title
"分子層成長用流量制御システムの試作とその応用に関する研究"
Statement of Responsibility
倉林徹研究代表者
Publisher
  • [倉林徹]
Publication Year
  • 1998.3
Book size
30cm
Other Title
  • ブンシソウ セイチョウヨウ リュウリョウ セイギョ システム ノ シサク ト ソノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ
  • 平成7-8年度科学研究費補助金(一般研究(C)(2))研究成果報告書(研究課題番号07650002)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794484553856
  • NII Book ID
    BB02607530
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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