分子層成長用流量制御システムの試作とその応用に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "分子層成長用流量制御システムの試作とその応用に関する研究"
- 責任表示
- 倉林徹研究代表者
- 出版者
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- [倉林徹]
- 出版年月
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- 1998.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ブンシソウ セイチョウヨウ リュウリョウ セイギョ システム ノ シサク ト ソノ オウヨウ ニカンスル ケンキュウ
- 平成7-8年度科学研究費補助金(一般研究(C)(2))研究成果報告書(研究課題番号07650002)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794484553856
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- NII書誌ID
- BB02607530
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books
