形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成

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Bibliographic Information

Title
"形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成"
Statement of Responsibility
高偉研究代表
Publisher
  • [高偉]
Publication Year
  • 2005.3
Book size
30cm
Other Title
  • ケイジョウ ソクテイ キノウ オ モツ ナノ カコウ プローブ ニヨル ダイメンセキ 3ジゲン ビサイ ケイソク キジュンメン ノ コウセイド ソウセイ
  • 平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号15360063)

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Notes

乱丁あり: p30-62

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794520167040
  • NII Book ID
    BB10635316
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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