マイクロマシン用Si微小構造の疲労特性評価

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書誌事項

タイトル
"マイクロマシン用Si微小構造の疲労特性評価"
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研究代表者:辻裕一
出版者
  • [東京電機大学]
出版年月
  • 2001.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • マイクロマシンヨウ Si ビショウ コウゾウ ノ ヒロウ トクセイ ヒョウカ

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794589875200
  • NII書誌ID
    BA76308459
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [東京]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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