次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発

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Bibliographic Information

Title
"次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発"
Statement of Responsibility
清野慧研究代表
Publisher
  • [清野慧]
Publication Year
  • 2007.3
Book size
30cm
Other Title
  • ジセダイ 3ジク セイミツ ステージヨウ ノ サーフェスエンコーダ ノ カイハツ
  • 平成14年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(S))研究成果報告書 : 研究課題番号 14102017

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Notes

課題番号: 14102017

参考文献: 各章末

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794618635520
  • NII Book ID
    BB10250140
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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