次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発"
- 責任表示
- 清野慧研究代表
- 出版者
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- [清野慧]
- 出版年月
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- 2007.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ジセダイ 3ジク セイミツ ステージヨウ ノ サーフェスエンコーダ ノ カイハツ
- 平成14年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(S))研究成果報告書 : 研究課題番号 14102017
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注記
課題番号: 14102017
参考文献: 各章末
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794618635520
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- NII書誌ID
- BB10250140
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books