グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄法の研究

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書誌事項

タイトル
"グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄法の研究"
出版者
  • [河邊隆也]
出版年月
  • 1998.10
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • グローモード プラズマゲン オ モチイタ ホウデン センジョウホウ ノ ケンキュウ

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注記

研究代表者: 河邊隆也

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794627465344
  • NII書誌ID
    BA43610630
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [つくば]
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
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