段階投資型半導体生産ラインを実現するプロセスガス解離完全制御プラズマプロセス技術
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "段階投資型半導体生産ラインを実現するプロセスガス解離完全制御プラズマプロセス技術"
- 責任表示
- 研究代表者 大見忠弘
- 出版者
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- [大見忠弘]
- 出版年月
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- 2002.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ダンカイ トウシガタ ハンドウタイ セイサン ライン オ ジツゲン スル プロセスガス カイリ カンゼン セイギョ プラズマプロセス ギジュツ
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注記
研究分担者: 平山昌樹
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794652952192
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- NII書誌ID
- BB06305362
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books