Fundamental electron and ion beam interactions with solids for microscopy, microanalysis and microlithography : proceedings of the 8th Pfefferkorn Conference, held May 7-12, 1989, at Park City, Utah

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書誌事項

タイトル
"Fundamental electron and ion beam interactions with solids for microscopy, microanalysis and microlithography : proceedings of the 8th Pfefferkorn Conference, held May 7-12, 1989, at Park City, Utah"
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edited by Jørgen Schou, Pieter Kruit, Dale E. Newbury ; managing editors, Ram A. Sharma and Om Johari
出版者
  • Scanning Microscopy International
出版年月
  • c1990
書籍サイズ
29 cm

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794674514048
  • NII書誌ID
    BA14040845
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Chicago (AMF O'Hare), Ill.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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