赤外線偏光レーザを用いたシリコン単結晶板の内部応力計測法の開発
CiNii
所蔵館 1館
書誌事項
- タイトル
- "赤外線偏光レーザを用いたシリコン単結晶板の内部応力計測法の開発"
- 責任表示
- 研究代表者:新津靖
- 出版者
-
- [東京電機大学]
- 出版年月
-
- 1995.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
-
- セキガイセン ヘンコウ レーザ オ モチイタ シリコン タンケッショウバン ノ ナイブ オウリョク ケイソクホウ ノ カイハツ
この図書・雑誌をさがす
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000794683958784
-
- NII書誌ID
- BA30276274
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- [東京]
-
- データソース種別
-
- CiNii Books