赤外線偏光レーザを用いたシリコン単結晶板の内部応力計測法の開発

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Bibliographic Information

Title
"赤外線偏光レーザを用いたシリコン単結晶板の内部応力計測法の開発"
Statement of Responsibility
研究代表者:新津靖
Publisher
  • [東京電機大学]
Publication Year
  • 1995.3
Book size
26cm
Other Title
  • セキガイセン ヘンコウ レーザ オ モチイタ シリコン タンケッショウバン ノ ナイブ オウリョク ケイソクホウ ノ カイハツ

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000794683958784
  • NII Book ID
    BA30276274
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [東京]
  • Data Source
    • CiNii Books
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