赤外線偏光レーザを用いたシリコン単結晶板の内部応力計測法の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "赤外線偏光レーザを用いたシリコン単結晶板の内部応力計測法の開発"
- 責任表示
- 研究代表者:新津靖
- 出版者
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- [東京電機大学]
- 出版年月
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- 1995.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- セキガイセン ヘンコウ レーザ オ モチイタ シリコン タンケッショウバン ノ ナイブ オウリョク ケイソクホウ ノ カイハツ
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794683958784
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- NII書誌ID
- BA30276274
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [東京]
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- データソース種別
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- CiNii Books
