極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御
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書誌事項
- タイトル
- "極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御"
- 責任表示
- 研究代表者 新宮原正三
- 出版者
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- [新宮原正三]
- 出版年月
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- 1995.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- キョクビサイ キンゾク ハイセン ニオケル コウミツド デンシリュウ ニ ユウキサレル ホウコウセイ ゲンシ イドウ ゲンショウ ノ カイメイ オヨビ セイギョ
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注記
課題番号:03555061
研究代表者: 新宮原正三(広島大学工学部助教授)
研究分担者: 堀池靖浩, 進藤春雄, 坂上弘之, 金子尚史
引用・参考文献あり
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794699675392
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- NII書誌ID
- BB27413498
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [東広島]
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- データソース種別
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- CiNii Books
