書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the Symposium on Inorganic Resist Systems"
- 責任表示
- edited by Daryl Ann Doane, Adam Heller ; [cosponsored by] Dielectrics and Insulation and Electronics Divisions and New Technology Subcommittee
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c1982
- 書籍サイズ
- 23 cm
- タイトル別名
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- Inorganic resist systems
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注記
Title on spine: Inorganic resist systems
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794710008704
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- NII書誌ID
- BA06289440
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- LCCN
- 82082860
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/82082860
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books
