Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology IV : 25-26 March 1992, Somerset, New Jersey
書誌事項
- タイトル
- "Spectroscopic characterization techniques for semiconductor technology IV : 25-26 March 1992, Somerset, New Jersey"
- 責任表示
- Orest J. Glembocki, chair/editor ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1992
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794742664704
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- NII書誌ID
- BA2262849X
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- ISBN
- 0819408395
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- LCCN
- 92081135
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92081135
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.381/52
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- データソース種別
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- CiNii Books