Silicon nitride in microelectronics and solar cells

書誌事項

タイトル
"Silicon nitride in microelectronics and solar cells"
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authors, Eberhard F. Krimmel, Rudolf Hezel ; editor, Alfred Pebler ; chief editor, Friedrich Schröder
出版者
  • Springer
出版年月
  • 1991
書籍サイズ
26 cm
シリーズ名/番号
  • : gw
  • : us

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注記

"Literature closing date: January 1990 in some cases more recent data have been considered"

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