超微細接合のための高精度位置決め視覚とプロセスコントロールに関する研究
CiNii
所蔵館 1館
書誌事項
- タイトル
- "超微細接合のための高精度位置決め視覚とプロセスコントロールに関する研究"
- 責任表示
- 研究代表者 藤本公三
- 出版者
-
- 大阪大学工学部
- 出版年月
-
- 1997.3
- 書籍サイズ
- 30 cm
- タイトル別名
-
- チョウビサイ セツゴウ ノ タメ ノ コウセイド イチキメ シカク ト プロセス コントロール ニ カンスル ケンキュウ
この図書・雑誌をさがす
注記
課題番号: 07455290
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000794894232704
-
- NII書誌ID
- BB26727424
-
- 本文言語コード
- ja
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- [吹田]
-
- データソース種別
-
- CiNii Books