Rapid thermal and related processing techniques : 2-3 October 1990, Santa Clara, California

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タイトル
"Rapid thermal and related processing techniques : 2-3 October 1990, Santa Clara, California"
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Rajendra Singh, Mehrdad M. Moslehi, chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1991
書籍サイズ
28 cm

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注記

Papers presented at the SPIE Conference on Rapid Thermal and Related Processing Techniques

Includes bibliographical references and index

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