Dry etching for VLSI

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書誌事項

タイトル
"Dry etching for VLSI"
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A.J. van Roosmalen, J.A.G. Baggerman, and S.J.H. Brader
出版者
  • Plenum Press
出版年月
  • c1991
書籍サイズ
26 cm

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注記

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