Fundamental aspects of ultrathin dielectrics on si-based devices

NATO Advanced Research Workshop on Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices: Towards an Atomic Scale Understanding (1997 : St. Petersburg, Russia), Garfunkel, Eric L., Gusev, E. L. (Evgeniĭ Leonidovich), Vul', Alexander

Fundamental aspects of ultrathin dielectrics on si-based devices

Web Site CiNii 所蔵館 9館

書誌事項

タイトル: "Fundamental aspects of ultrathin dielectrics on si-based devices"

責任表示: edited by Eric Garfunkel, Evgeni Gusev and Alexander Vul'

出版者

Kluwer Academic Publishers

出版年月

1998

書籍サイズ: 24 cm

シリーズ名/番号

: pbk

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注記

Includes index

"NATO Science Sereis"--Cover

"Published in cooperation with NATO Scientific Affairs Division."

Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop onFundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices:Towards an Atomic Scale Understanding, St. Petersburg, Russia, August 4-8, 1997

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