電気粘性流体を援用した超平滑マイクロメカニカルファブリケーションシステムの試作

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書誌事項

タイトル
"電気粘性流体を援用した超平滑マイクロメカニカルファブリケーションシステムの試作"
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厨川常元研究代表者
出版者
  • [厨川常元]
出版年月
  • 2001.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • デンキ ネンセイ リュウタイ オ エンヨウシタ チョウヘイカツ マイクロメカニカルファブリケーションシステム ノ シサク
  • 平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(11555038)

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794999676672
  • NII書誌ID
    BB06510838
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [仙台]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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