X線表面散乱法を用いた極微パターン形状の定量的評価法の開発
CiNii
Available at 1 libraries
Bibliographic Information
- Title
- "X線表面散乱法を用いた極微パターン形状の定量的評価法の開発"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 梅野正隆
- Publisher
-
- 大阪大学工学部
- Publication Year
-
- 1997.3
- Book size
- 30 cm
- Other Title
-
- Xセン ヒョウメン サンランホウ ヲ モチイタ ゴクビ パターン ケイジョウ ノ テイリョウテキ ヒョウカホウ ノ カイハツ
Search this Book/Journal
Notes
課題番号: 07555337
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000795029042560
-
- NII Book ID
- BB26434051
-
- Text Lang
- ja
-
- Country Code
- ja
-
- Title Language Code
- ja
-
- Place of Publication
-
- [吹田]
-
- Data Source
-
- CiNii Books