超精密洗浄技術 : 実態と課題
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "超精密洗浄技術 : 実態と課題"
- 出版者
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- シーエムシー
- 出版年月
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- 1992.3
- 書籍サイズ
- 31cm
- タイトル別名
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- チョウセイミツ センジョウ ギジュツ : ジッタイ ト カダイ
- Ultra precision cleaning technologies
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注記
監修:角田光雄
発売:ジスク
各章末:文献
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795069543168
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- NII書誌ID
- BN07970929
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- 件名
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- NDLSH: 洗浄剤
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- データソース種別
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- CiNii Books
