超精密加工機械案内面のうねり形状測定における高精度化と迅速化に関する研究

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書誌事項

タイトル
"超精密加工機械案内面のうねり形状測定における高精度化と迅速化に関する研究"
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研究代表者 清野慧
出版者
  • 清野慧
出版年月
  • 1987.3
書籍サイズ
26cm
タイトル別名
  • チョウセイミツ カコウ キカイ アンナイメン ノ ウネリ ケイジョウ ソクテイ ニ オケル コウセイドカ ト ジンソクカ ニ カンスル ケンキュウ
  • 昭和61年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書(課題番号 60550080)

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注記

研究課題番号: 60550080

研究代表者: 清野慧 (東北大学 工学部 助教授)

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795100899072
  • NII書誌ID
    BB12492504
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [仙台]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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