書誌事項
- タイトル
- "Silicon processing for the VLSI era"
- 責任表示
- Stanley Wolf
- 出版者
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- Lattice Press
- 出版年月
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- c1986-<c1990 >
- 書籍サイズ
- 25 cm
- シリーズ名/番号
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- cover : v. 1
- v. 2
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注記
vol. 1: Process technology. vol. 2: Process integration
Includes bibliographies and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795101472256
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- NII書誌ID
- BA21071769
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- ISBN
- 0961672137
- 0961672145
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- LCCN
- 86081923
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/86081923
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Sunset Beach, Calif.
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- 分類
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- NDC8: 549.7
- LCC: TK7874
- DC19: 621.381/73
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books
