書誌事項
- タイトル
- "Optical/laser microlithography V : 11-13 March 1992, San Jose, California"
- 責任表示
- John D. Cuthbert, chair/editor ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1992
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pt. 1
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795145992064
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- NII書誌ID
- BA26388944
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- ISBN
- 0819408298
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- LCCN
- 92060182
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/92060182
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- データソース種別
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- CiNii Books