Proceedings of the Symposium on Process control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing

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書誌事項

タイトル
"Proceedings of the Symposium on Process control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing"
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editors, M. Meyyappan, D. J. Economou, S. W. Butler
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c1995
書籍サイズ
24 cm

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795148168320
  • NII書誌ID
    BA2815058X
  • ISBN
    1566770963
  • LCCN
    95060437
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/95060437
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, NJ
  • データソース種別
    • CiNii Books
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