書誌事項
- タイトル
- "Emerging semiconductor technology : a symposium"
- 責任表示
- sponsored by ASTM Committee F-1 on Electronics, San Jose, CA, 28-31 Jan. 1986 ; Dinesh C. Gupta and Paul H. Langer, editors
- 出版者
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- American Society for Testing and Materials
- 出版年月
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- c1987
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Papers presented at the Fourth International Symposium on Semiconductor Processing
"ASTM publication code number (PCN) 04-960000-46."
Includes bibliographies and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795257747328
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- NII書誌ID
- BA04332527
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- ISBN
- 0803104596
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- LCCN
- 86028761
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/86028761
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Philadelphia, PA
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC19: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books
