原子層エピタキシャル法による酸化物単結晶薄膜育成のための制御装置の試作
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書誌事項
- タイトル
- "原子層エピタキシャル法による酸化物単結晶薄膜育成のための制御装置の試作"
- 責任表示
- 大矢銀一郎研究代表者
- 出版者
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- [大矢銀一郎]
- 出版年月
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- 1985.3
- 書籍サイズ
- 27cm
- タイトル別名
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- ゲンシソウ エピタキシャル ホウ ニ ヨル サンカブツ タンケッショウ ハクマク イクセイ ノ タメ ノ セイギョ ソウチ ノ シサク
- 昭和59年度科学研究費補助金(試験研究)研究成果報告書 : (研究課題番号 58850073)
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注記
課題番号: 58850073
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795268011392
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- NII書誌ID
- BB21737431
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books