MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用

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Bibliographic Information

Title
"MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用"
Statement of Responsibility
東レリサーチセンター調査研究部門制作
Publisher
  • 東レリサーチセンター
Publication Year
  • 2004.5
Book size
30cm
Other Title
  • MEMS NEMS ノ サイシン ドウコウ : マイクロ マシン ノ キソ ト オウヨウ

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引用文献あり

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795326944000
  • NII Book ID
    BA70523925
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 東京
  • Classification
  • Subject
  • Data Source
    • CiNii Books
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